午夜影院免费入口,亚洲一区二区三区免费看,2021高清潢色大片,日韩欧美二区,日韩黄色在线播放,国产欧美日韩精品综合

全自動視覺AOl檢查機

全自動晶圓外觀檢查機主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測設(shè)備，以提高客戶生產(chǎn)效率;適用于4inch，6inch，8inch晶圓。

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品特點：

• 檢測同時支持線寬測量及套刻測量三合一。
• 表面缺陷檢測能力可達(dá)0.3um。
• 自動檢測無需人工,單機缺陷檢測模式。
• 靈活高效多種方式的缺陷和自動缺陷分類。
• 單層圖形和多層圖形檢測,及自定義區(qū)域檢測。
• 高精度線寬量及套刻尺寸測量系統(tǒng)。
• 自動腳本編程能力和自動化運行。
• 自帶自動檢測料盒功能,自帶 Mapping功能,可雙面檢測。
• 晶圓機械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運轉(zhuǎn);JEL/首鐳自主機械手。

 

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

全自動晶圓外觀檢查機主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測設(shè)備，以提高客戶生產(chǎn)效率;適用于4inch，6inch，8inch晶圓。


產(chǎn)品參數(shù)

激光類型配置

設(shè)備型號SL-WOV1020

適用晶圓

4寸.6寸.8寸

線掃相機+激光測量儀

16K線掃相機+激光測量儀：幅寬6mm掃描間隔lum-10um;

相機鏡頭

鏡頭WD:49mm FOV:360mm圖像分辨率：2lum

線掃同軸光源

發(fā)光區(qū)域340mm*40mm

線掃線光源

組合光源；線光源2組；發(fā)光區(qū)域340mm*20mm

檢測類型

外觀不良；尺寸、厚度測量

產(chǎn)品上下料方式

Open cassette;

產(chǎn)品傳送方式

日本JEL晶圓ROBOT+Mapping功能

晶圓載臺

X.Y.Z.R載臺：形成6.5mm;粗調(diào)360°、微調(diào)±5°、最小行程5um

晶圓平移模組

行程350mm'重復(fù)精度±20um

軟件

首鐳專用晶圓外觀檢查軟件系統(tǒng)；

OCR讀取

視覺識別(可選配)

FFU

雙FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh

系統(tǒng)對接

MES與EAP(具備TCP/IP;支持SECS-GEM通訊標(biāo)準(zhǔn))

設(shè)備尺寸

L:1700mm*W:1350mm*H:1900mm

相關(guān)產(chǎn)品

歡迎您的留言咨詢

我們的工作人員將會在24小時之內(nèi)（工作日）聯(lián)系您，我們將為您提供竭誠的服務(wù)