碳化硅晶圓ID激光標(biāo)刻設(shè)備
全自動晶圓激光標(biāo)刻機主要是對各種外延硅晶圓片、先進封裝復(fù)合晶圓、SIC晶圓進行精密標(biāo)記；適用于6inch,8inch,12inch晶圓打碼
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點：
• 專業(yè)料盒上下料，機械手取料、打標(biāo)、放料回原位
• 全自動運行，視覺自動尋邊定位機構(gòu)，加工效率高
• 自動檢測料盒有無產(chǎn)品，機械手自帶Mapping功能，可選擇雙面打標(biāo)
• 晶圓機械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運轉(zhuǎn)，JEL專用晶圓機械手
• 標(biāo)配99.995%0.3um過濾的FFU，有效保障機內(nèi)潔凈度
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
全自動晶圓激光標(biāo)刻機主要是對各種外延硅晶圓片、先進封裝復(fù)合晶圓、SIC晶圓進行精密標(biāo)記；適用于6inch,8inch,12inch晶圓打碼
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